Appareillage pour les dépots de couches minces sur support chauffé

Abstract
In this paper is described an apparatus which allows one to obtain thin films on a heated substrate by a vacuum technique. The author shows the principle of the oven designed in an attempt to obtain a uniform temperature in a several cm3 volume without any variation with time.

Résumé
Cet article décrit un appareillage destiné à la réalisation sous vide de couches minces sur support chauffé. L'auteur s'est attaché plus particulièrement à la réalisation du four permettant d'obtenir une température uniforme à une fraction de degré près dans un volume de plusieurs centimètres cubes et ayant la même stabilisation dans le temps.