Numéro |
J. Phys. Phys. Appl.
Volume 23, Numéro S12, décembre 1962
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Page(s) | 141 - 143 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/jphysap:019620023012014100 |
DOI: 10.1051/jphysap:019620023012014100
Préparation de couches minces de bore (quelques μg/cm2) sur supports minces de carbone
J.P. Longequeue, N. Longequeue, H. Beaumevieille, E. Ligeon, F. Demartiny et J. FontenilleCentre d'Études Nucléaires de Grenoble et Laboratoire de Physique Nucléaire de la Faculté des Sciences de Grenoble
Abstract
Thin films of boron (some μg/cm2) deposited on thin backings of carbon have been prepared, carbon and boron being evaporated by électron bombardment. The thickness of these thin films has been measured using piezoelectric quartz, and difficulties arising from heating of the quartz and from ionisation of evaporated atoms have been overcome.
Résumé
Des couches minces de bore (quelques μg/cm2) déposées sur des supports minces de carbone ont été réalisées, le carbone et le bore étant évaporés par bombardement électronique. La mesure de l'épaisseur des couches minces a été faites en utilisant des quartz piézoélectriques, et les difficultés provenant de l'échauffement des quartz et de l'ionisation des atomes évaporés ont été surmontées.
8115J - Ion and electron beam-assisted deposition; ion plating.
Key words
boron -- films