Numéro
J. Phys. Phys. Appl.
Volume 24, Numéro S3, mars 1963
Page(s) 45 - 52
DOI https://doi.org/10.1051/jphysap:0196300240304500
J. Phys. Phys. Appl. 24, 45-52 (1963)
DOI: 10.1051/jphysap:0196300240304500

Dispositif de formation de l'image électronique au moyen de la microsonde de Castaing

J. Pinard, F. Thomas, E. Weinrye et J. Philibert

Institut de Recherches de la Sidérurgie, St-Germain-en-Laye


Abstract
The Castaing microprobe has been equipped with a scanning device, which allows images of the distribution of a given element to be displayed with help of its characteristic X emission. It has been also utilized to obtain an " electron image " depending on the differences in atomic number and in the target relief. Electron bombardment by the probe gives rise to a local emission of backscattered and secondary electrons. By grounding the specimen through a large resistor, a voltage proportionnal to 1- δ is generated. δ is the yield of the local electron emission, the conditions of which have been discussed elsewhere [5]. After amplification this voltage modulates the beam of a C. R. Tube. In the best case, the smallest detectable variation is as low as 20 μV, corresponding to a variation of the target atomic number Δ Z of about 1/10. A few examples are briefly described in order to show the applications of this technique.


Résumé
Le dispositif de balayage automatique de la microsonde de Castaing a été conçu pour donner des images de la répartition d'un élément chimique donné à l'aide de son émission X caractéristique. Nous l'avons également utilisé pour former une « image électronique » sensible aux différences de numéro atomique et au relief de la cible. En effet sous l'action du bombardement il y a, au point d'impact de la sonde, émission d'électrons rétrodiffusés et d'électrons secondaires. En reliant l'échantillon à la masse par l'intermédiaire d'une forte résistance on recueille une tension proportionnelle à 1- δ, où δ est le rendement de l'émission électronique locale dont les conditions ont été précisées par ailleurs [5]. Cette tension peut, après amplification, moduler le faisceau d'un oscillographe cathodique. Dans les meilleures conditions la plus petite variation décelable est égale à 20 μV, ce qui correspondrait à une variation de numéro atomique ΔZ de la cible d'environ 1/10. Quelques exemples sont brièvement décrits pour illustrer les applications de cette technique.

PACS
6110 - X-ray diffraction and scattering.

Key words
X ray chemical analysis -- networks (circuits) -- image convertors