Numéro
J. Phys. Phys. Appl.
Volume 21, Numéro S11, novembre 1960
Page(s) 222 - 223
DOI https://doi.org/10.1051/jphysap:019600021011022201
J. Phys. Phys. Appl. 21, 222-223 (1960)
DOI: 10.1051/jphysap:019600021011022201

Mesure de l'épaisseur des films minces pendant leur formation sous vide

J.C. Bruyère

Laboratoire d'Électrostatique et de Physique du Métal, Grenoble

Without abstract


PACS
8115E - Vacuum deposition.
0630B - Spatial dimensions (e.g., position, lengths, volume, angles, and displacements).
0750 - Electrical and electronic instruments and components.

Key words
Vacuum deposition -- Thin film -- Measurement method -- Thickness measurement -- Calibration -- Electrical method

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