Numéro
J. Phys. Phys. Appl.
Volume 22, Numéro S6, juin 1961
Page(s) 103 - 107
DOI https://doi.org/10.1051/jphysap:01961002206010300
J. Phys. Phys. Appl. 22, 103-107 (1961)
DOI: 10.1051/jphysap:01961002206010300

Dispositif de bombardement ionique pour préparations micrographiques

Max Paulus et François Reverchon

Laboratoire de Magnétisme et de Physique du Solide, C. N. R. S. à Bellevue


Abstract
The details of desing and setting up of an apparatus which allows the preparation of conducting or insulating micrographic samples by uniform ionic bombardement are given. The average surface area subjected to bombardement may be 0.1 Sq. In. or greater being limited only by the speed of the vacuum pump. The adaptation of this device for making thinner samples of bulk materials meant for direct examination by transmission electron microscopy is also described.


Résumé
On donne les détails de construction et de mise en oeuvre d'un appareillage permettant de préparer par bombardement ionique uniforme des surfaces de 0,6 cm2 (ou plus, ces surfaces n'étant limitées que par le débit du groupe de pompage), sur des échantillons micrographiques conducteurs ou isolants. On décrit également l'adaptation de ce dispositif à l'amincissement d'échantillons massifs destinés à l'examen direct par transmission au microscope électronique.

PACS
0660E - Sample preparation (including design of sample holders).
0778 - Electron, positron, and ion microscopes; electron diffractometers.

Key words
electron microscopy -- ion beams